分析高真空擴散泵控制系統的性能和操作規程

 

　　性能表現：

　　1、經濟：由于能耗小，這款高真空泵組可以非常有效地節省能源。

　　2、高速：在泵組的進氣口和粗真空旁抽氣路上裝有高真空閥，在抽氣的過程中，可以有效地規劃真空獲得設備的使用以達到大的抽真空速度。

　　3、高效：功能強大的雙級旋片泵可以獲得足夠的前級抽速，確保高真空擴散泵控制系統始終能夠進入全抽速狀態，達到約10-6 mbar的極限真空。

　　4、緊湊、耐用、便攜：泵、閥和管路緊湊地安裝在支撐柱上。由于尺寸小、重量輕且采用風冷，這款泵組可以非常方便地搬動到任何需要抽真空的系統旁。該高真空泵組經常被放置在桌面或實驗臺上使用，這樣可以進一步縮短真空抽氣管路。

　　5、指引清楚：小型的實驗室設備可以直接接到泵組上使用。在泵組外殼上貼有清晰簡練的指導說明告訴您如何使用泵組，防止誤操作。只有當主電源和雙級旋片泵啟動開關均被設置為開時，高真空擴散泵控制系統的開關才可以設置為開。所有的閥門和開關均安置在泵組的前面板，易于操作。

　　高真空擴散泵控制系統操作規程：

　　1、檢查真空系統各部分，熟悉系統的氣路結構，了解真空系統各元件的作用以及操作部分的電路聯接。

　　2、關閉放氣閥門，啟動機械泵，對系統進行抽氣，并隨時用火花檢漏器對系統各部分進行檢漏。如系全金屬系統，則可關閉閥門，用真空計讀數記下P-t曲線。如壓強隨時間呈直線上升，可斷定系統有漏氣源，應進行檢漏。

　　3、當系統真空度達到油擴散泵的前置壓強（5×10-2托）后，啟動擴散泵，使加熱電流逐漸升到額定值。在啟動擴散泵前，必須先開冷卻水。

　　4、擴散泵正常工作后，用火花檢漏器判斷量測系統的真空度。到10-3托以上才能使用電離真空計。使用時先對規管除氣，后測量真空度。

　　5、對系統進行烘烤去氣處理。對玻璃系統而言，硬玻璃烘烤溫度為400℃～450℃ ，軟玻璃為350℃～400℃ 。去氣時間視具體要求而定，一般1～2小時。去氣完后，真空度仍達不到要求，應使用電離計記P-t曲線，以判斷是否漏氣。亦可用丙酮、酒精等涂抹可疑處，看表針的擺動以發現漏孔。若為去氣不良，應進一步烘烤，加長時間去氣。新系統一般要抽較長時間才能達到預期的真空度。真空度老上不去，則要考慮系統設計、安裝是否合理，有無死空間，放氣源多否，維修時是否帶進了臟物，被抽容器是否清潔等其他因素。